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MEMSデバイス徹底入門
「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ

定価(税込)  2,376円

著者
サイズ A5判
ページ数 192頁
ISBNコード 978-4-526-07871-2
コード C3054
発行月 2018年08月
ジャンル 電気・電子

内容

MEMS技術がひととおりわかる、MEMSを使ってみたい人のための入門書決定版。著者自ら市販センサを使って電子工作、実験を行い、MEMSを「つかう」方法をくわしく説明。豊富な図や写真でMEMSの仕組みが「わかる」。MEMSを「つくる」最新プロセスも紹介。必要な数式は順を追って丁寧に解説。

三田吉郎  著者プロフィール

(みた よしお)

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