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液晶ディスプレイ製造装置用語辞典 ―第3版―

定価(税込)  5,292円

編者
サイズ A5判
ページ数 544頁
ISBNコード 978-4-526-05952-0
コード C3054
発行月 2007年10月
ジャンル 辞典・用語集・便覧 電気・電子

内容

第2版が1999年に発行されて以来、8年ぶりの第3版。今回の改訂では、液晶ディスプレイ製造技術の発展と、パネルの大型化に伴って導入された新しい製造技術の用語を追加し、環境に関しての用語を手厚くするなどの改訂を加えている。幅広い読者層を想定した、わかりやすい解説が特徴の定番辞典。

目次

 序文 
 日本半導体製造装置協会(SEAJ)案内 
 第3版編集に当たって 
 「第3版」編集委員名簿 
 凡例 

第1章 工程の流れおよび基礎と装置用語の構成 
 まえがき 
 1. a―Si TFT―LCDの製造工程 
  1.1 a―Si TFT―LCDの構造 
  1.2 アレイマスク製造工程 
   1.2.1 マスクブランク製造工程 
   1.2.2 パターン形成工程 
   1.2.3 検査修正工程 
   1.2.4 ペリクル貼付工程 
  1.3 アレイ製造工程 
  1.4 カラーフィルタ製造工程 
   1.4.1 染色法 
   1.4.2 顔料分散法 
   1.4.3 印刷法 
   1.4.4 電着法 
   1.4.5 インクジェット法 
  1.5 パネル(セル)製造工程 
  1.6 モジュール製造工程 
   1.6.1 TCP方式のモジュール製造工程 
   1.6.2 COG方式のモジュール製造工程 
   1.6.3 バックライト製造工程 
 2. TFD―LCDの製造工程 
 3. poly―Si TFT―LCDの製造工程 
 4. STN―LCDの製造工程 
 5. 新しいLCD要素技術 
  5.1 反射型LCD(reflective LCD) 
  5.2 半透過型LCD(transreflective LCD) 
  5.3 広視野角・高速応答技術(wide―viewing angle・quick response time)  
  5.4 低温poly―Si TFT
 (lowtemperature polycrystalline silicon TFT:LTPS―TFT) 
  5.5 光配向(optical orientation) 
  5.6 新カラー表示方式(new color displaymethod)
 (カラーフィルタレス方式) 
  5.7 環 境(environment) 
 6. 装置用語の構成 

第2章 アレイマスク製造工程用語
〔A〕アレイ設計工程 
 A1000 基本・共通 
 A2000 アレイ設計 
 A3000 駆動・回路設計 
 A4000 レイアウト設計・検証 
 A5000 テスト設計 

〔B〕マスク製造工程 
 B1000 基本・共通 
 B2000 マスクブランク製造 
 B3000 パターン形成装置 
 B4000 検査修正装置 
 B5000 検査評価装置 

〔C〕基板製造工程 
 C1000 基本・共通 
 C2000 基板製造 
 C3000 機械加工 
 C4000 ポリシング 
 C5000 熱処理 
 C6000 検査 

第3章 アレイ製造工程用語
 D1000 基本・共通 
 D2000 薄膜形成 
 D3000 酸化/陽極酸化/アニール 
 D4000 ドーピング 
 D5000 洗浄・乾燥 
 D6000 レジスト処理 
 D7000 露光 
 D8000 アレイエッチング 
 D9000 レジスト剥離 
 D10000 欠陥修正装置 

第4章 カラーフィルタ製造工程用語
 E1000 基本・共通 
 E2000 ブラックマトリクス(BM)形成工程 
 E3000 着色パターン形成工程 
 E4000 保護膜形成工程 
 E5000 透明電極膜形成工程 
 E6000 切断工程 
 E7000 その他工程 
 E8000 検査 
 E9000 欠陥修正装置 

第5章 パネル(セル)製造工程用語
 F1000 基本・共通 
 F2000 配向処理 
 F3000 貼合せ 
 F4000 分断 
 F5000 液晶注入 
 F6000 仕上げ 

第6章 モジュール製造工程用語
 G1000 基本・共通 
 G2000 TCP搭載 
 G3000 組立 
 G4000 バックライト組立 
 G5000 エージング 
 G6000 COG方式モジュール 

第7章 検査工程用語
 H1000 基本・共通 
 H2000 検査 
 H3000 ハンドリング 
 H4000 信頼性試験装置 
 H5000 表示欠陥 

第8章 設備・環境工程用語
 I1000 水 
 I2000 薬品 
 I3000 ガス 
 I4000 クリーンルーム 
 I5000 安全 
 I6000 ファクトリーオートメーション(FA) 
 I7000 環境 

資  料
 1. 引用文献一覧表 
 2. ブラックマトリクス(BM)形成工程 
 3. 着色パターン形成工程 
 4. 水と半導体工場 
 5. ガスと半導体工場 
 6. 設備・環境工程装置の構成 

 「第2版」審議に当たって 
 「第2版」編集に当たって 
 「第2版」関係委員名簿 

索  引
 ①略語・日本語索引 
 ②英語索引 

はじめに

序 文

 液晶ディスプレイ市場はますます拡大の一途を辿り,ノートPC用途,PCモニタ用途に引き続き大型薄型TV用途が市場を牽引し,第8世代ラインも順調に稼動を開始しています。また,最近は更に大型の基板による新規投資の話も聞こえてくる正に活況を呈した状況となっています。

 当協会の統計によれば,2006年度の日本製液晶ディスプレイ製造装置販売実績は5,429億円となり,好調であった日本製半導体製造装置販売実績1兆7,778億円の約1/3の規模に達しています。我が国の液晶ディスプレイ製造装置産業は,世界の電子産業を支える基幹産業として,今後ますますの発展が期待されています。

 また留意すべき点として,液晶ディスプレイは基板面積も大きく製造過程での用力の使用量が莫大であり,地球環境へ与える影響は多大なものがあります。ディスプレイ製造装置業界として環境対策は安全とともに重要な課題として今後も真剣に取り組んで行かなければなりません。

 液晶ディスプレイ製造装置用語辞典は1996年10月に初版が発行され,1999年10月に第2版が発行されました。本書は液晶ディスプレイ市場の発展と共にこの業界を支えてこられた幅広いお立場の皆様に活用していただけたものと思います。第2版の出版後8年の歳月が経ち,その間に急速な基板サイズ大型化やディスプレイ製造に関する幾つかの新技術の採用がありましたので,皆様のご要望にお応えして第3版を発行することにいたしました。改訂にあたり読者にとって本書がますます使い易くなるように工夫し,また環境に関する用語もできる限り取り入れるよう努めました。

 今回の改訂に際して,新用語の審議や本書の編集を担当していただいた当協会FPD部会用語専門委員会の各委員並びに関係者の多大なるご尽力に深く感謝するとともに,本書が今後の更なるディスプレイ業界発展に寄与することを期待しています。

2007年10月
社団法人 日本半導体製造装置協会 会長 東  哲 郎

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