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SCIENCE AND TECHNOLOGY
MEMSのはなし

定価(税込)  1,512円

編著
著者
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サイズ B6判
ページ数 160頁
ISBNコード 978-4-526-05404-4
コード C3054
発行月 2005年01月
ジャンル 機械

内容

MEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムズ)は、微小電気機械素子あるいはマイクロマシン(微小機械)といわれ、次世代の重要産業として、各界で研究開発が進んでいる。本書では、そのMEMSのすべてをやさしく解説する。

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